遠(yuǎn)程塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)的選擇

    集成電路加工制造業(yè)是必須在一個潔凈自然環(huán)境中開展的，它是應(yīng)用超純原材料開展超細(xì)致生產(chǎn)加工的制造行業(yè)。集成電路生產(chǎn)制造對凈化室自然環(huán)境的操縱有嚴(yán)苛的規(guī)定，不一樣的加工工藝對潔凈度有不一樣的規(guī)定。塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)

    半導(dǎo)體材料集成電路在加工過程中會觸碰到許多 空氣污染物，例如無機(jī)正離子、有機(jī)化學(xué)化學(xué)物質(zhì)、微生物菌種、汽體殘?jiān)@些。此外，理論來講，不適度的溫度、環(huán)境濕度、陽光照射、靜電感應(yīng)超標(biāo)準(zhǔn)、電磁感應(yīng)噪音、空氣噪音和微震動也是獨(dú)特的空氣污染物。

    在其中，當(dāng)顆粒物殘?jiān)o機(jī)正離子、有機(jī)化學(xué)化學(xué)物質(zhì)、微生物菌種和汽體殘?jiān)某煞殖鲆欢ǔ潭葧r，集成電路商品會出現(xiàn)表層刮傷、圖型破裂、短路故障、針眼、蛻皮等狀況。造成電路泄露和出現(xiàn)異常電氣設(shè)備特點(diǎn)，輕則危害電路特性和使用期，重則造成電路損毀。

    一般 ，環(huán)境污染造成的電路商品返修率將會達(dá)到60％。簡而言之，集成電路集成ic的產(chǎn)出率與集成ic的缺點(diǎn)相對密度相關(guān)，而缺點(diǎn)相對密度與空氣中的顆粒數(shù)相關(guān)。因而，伴隨著集成電路的快速發(fā)展趨勢，不但對操縱空氣中顆粒物的尺寸規(guī)定極高，并且對操縱顆粒物的總數(shù)也規(guī)定極高。另外，對集成電路工藝集成電路工作環(huán)境中凈化車間新項(xiàng)目的有機(jī)化學(xué)環(huán)境污染操縱也是有有關(guān)規(guī)定。塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)

    由于這類狀況，就必須應(yīng)用遠(yuǎn)程控制空氣浮塵粒子計(jì)數(shù)器來對半導(dǎo)體材料集成電路生產(chǎn)線的自然環(huán)境開展檢測，確保商品工作環(huán)境做到清潔規(guī)范，針對空氣浮塵粒子計(jì)數(shù)器的挑選，項(xiàng)目工程師提議應(yīng)用英國ParticlesPlusInc．遠(yuǎn)程控制空氣浮塵粒子計(jì)數(shù)器－5301，配備簡易，可從一個儀器設(shè)備遷移到另一個儀器設(shè)備，便于清理和擦洗與最小的粒子圈套，智能安裝選擇項(xiàng)，無縫拼接集成化到設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)軟件。