凈化器外的空氣滲入是影響潔凈度的一個重要原因
1. 單向流動潔凈室中的空氣流動分析
（1）應用周期短. 單向氣流的換氣頻率為300?400次/小時，空調(diào)系統(tǒng)一般采用兩種回風方式. 空氣處理單元（AHU）與潔凈室之間有一定距離時. 航空運輸?shù)哪茉聪姆浅４? 如果可以在潔凈室中循環(huán)使用（短周期），則可以大大降低能耗. 表27.8-1說明了兩者之間的區(qū)別.
（2）顯熱盤管的應用. 由于該想法的工業(yè)潔凈室中的負荷主要是顯熱，即熱濕比為+∞，因此在進行新鮮的大規(guī)模除濕后，可以將其與顯熱冷卻盤管的室內(nèi)空氣混合. 空氣集中處理. 以此方式，為了處理大量的循環(huán)空氣，可以使用具有較高水溫的冷水，而通過低溫除濕盤管處理少量的新鮮空氣，這在經(jīng)濟上是有利的. 表27.8-2中列出的兩種方法用于此處理，即在末尾混合新風和回風，在顯熱盤管之前混合新風和回風. 總冷卻負荷沒有差別.
2. 潔凈室和空調(diào)的各種組合
（1）空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化裝置的組合如表27.8-3所示. 在本地凈化設備的控制范圍內(nèi)，通常可以達到5級. 在表中，I表示不帶外殼的局部清潔區(qū)域，II表示帶可移動外殼的清潔區(qū)域，III表示操作固定透明外殼的區(qū)域. 可以從原始的非單向流動潔凈室轉(zhuǎn)換以上三個局部潔凈區(qū)域.
（2）非單向流動潔凈室和空調(diào)系統(tǒng)的組合如表27.8-4所示. 通常，可以達到6至8的清潔度. 我是兩次回風模式；對于需要24小時運行的無塵室，可以通過變頻控制風扇，以適應夜間的負載和正壓. II適用于多個系統(tǒng)的集中新鮮空氣處理.
（3）單向流動潔凈室和空調(diào)的組合如表27.8-5所示. 在表中，我是單風扇全風量運行模式（兩次回風）；二是短循環(huán)模式； III / IV是使用空調(diào)單元的無塵室空調(diào)方法. 表中的方法最適合于小型單人潔凈室. 以下示例介紹了大規(guī)模單向流清洗.
（4）清潔隧道方法，在微電子工業(yè)中，出于經(jīng)濟考慮，結(jié)合工藝特征，已經(jīng)形成了一種特征性的純化方法，成為清潔隧道. 圖27.8-1顯示了減少潔凈空間和空調(diào)供氣系統(tǒng)的過程根據(jù)進化過程，這種從模式I引導III的方式可以將集中式機房的空氣供應減少到5％，并將風扇功率減少到50 ％. 設備成本降低了60％.
隨著超大規(guī)模集成電路制造的發(fā)展，過程自動化程度日益提高. 它不一定需要在大型工廠建筑物中進行高層凈化，而是創(chuàng)建了一個與過程密切相關(guān)的微環(huán)境控制設備. 該設備實現(xiàn)了高級凈化環(huán)境.
3. 凈化空調(diào)系統(tǒng)分部
純凈空調(diào)系統(tǒng)的風量大于普通空調(diào)系統(tǒng)的風量，因此應根據(jù)建筑空間等的布局合理劃分，以使風道交叉. 截面和傳輸長度不應太大. 此外，還應根據(jù)以下原則考慮系統(tǒng)的劃分；
（1）單向流系統(tǒng)應與非單向流分開. 這是由于凈化水平不同而導致的空氣處理和控制方法的差異.
（2）應分別設置三級過濾和凈化系統(tǒng)和一般的空調(diào)系統(tǒng)（或兩級過濾和凈化系統(tǒng)）.
（3）溫度和濕度精度差異較大的系統(tǒng)應單獨設置.
（4）具有不同操作班次和操作規(guī)則的系統(tǒng)應分別設置.
（5）具有不同新鮮空氣比例的系統(tǒng)應分別設置.
（6）產(chǎn)生有毒，有害，易燃和易爆材料的系統(tǒng)應與一般系統(tǒng)分開設置.
4. 潔凈室的正壓控制
潔凈室外部的空氣滲透是污染干擾潔凈室清潔度的重要原因之一. 因此，必須給報紙一定的壓力差. 潔凈室與潔凈度不同的潔凈區(qū)域和非潔凈區(qū)域之間的壓力差應大于或等于5pa，潔凈區(qū)域與室外之間的壓力差應大于或等于10pa. 相反，該過程產(chǎn)生大量粉塵. 在有毒，易燃易爆物質(zhì)的加工區(qū)域中，手術(shù)室與其他室之間應保持相對負壓.
由于凈化空調(diào)系統(tǒng)中過濾器阻力的變化以及排氣柜的排氣可能在室內(nèi)，因此必須采取相應的措施和控制以保持一定的正壓. 殘留壓力閥，回風口的阻尼層以及回風閥的手動或自動控制通常用于維持室內(nèi)的正壓. 對于一般的空調(diào)房間，保持室內(nèi)正壓的流出空氣量與每個空氣量L滲透之間的關(guān)系為L滲透（正壓）= L send-L return-L局部排放. 正壓穿透風量可以根據(jù)房間結(jié)構(gòu)的密封性能（一定壓差下每米間隙的風量）來確定，一般可以根據(jù)房間通風頻率2-6次/ h來取. 但是，由于無塵室的嚴格結(jié)構(gòu)和對正壓的嚴格要求，使用殘壓閥或差壓式電動風門控制閥更加可靠.
用新鮮空氣量控制新鮮空氣量的原理. 對于多房間系統(tǒng)，根據(jù)每個房間的壓力要求，使用微電腦控制.